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光学非接触测量仪的原理及特点
2024-06-29

光学非接触测量仪是一种先进的测量设备,它利用光学原理来测量目标物体的尺寸、形状、表面质量等特征参数,而无需与目标物体进行直接接触。这种测量方式具有高精度、高速度、非破坏性等特点,在多个领域得到了广泛应用。

光学非接触测量仪

工作原理

光学非接触测量仪的工作原理主要基于光学传感技术。它利用光源发射出的光线照射到目标物体上,并通过光学传感器接收被目标物体反射、散射、透射的光线,进而获得目标物体的相关信息。根据不同的应用需求,光学非接触测量仪可以采用不同的测量方法,包括三角测量法、位移干涉法、散斑法等。

三角测量法

三角测量法是一种常见且基本的光学非接触测量方法。它利用光学传感器对目标物体上特定点的位置进行测量,并进而计算出目标物体的尺寸、角度等参数。该方法适用于需要进行尺寸测量和形状分析的场合,如机械制造、工业检测等。通过对目标物体上多个点的测量,可以还原出整个目标物体的三维形状信息。

位移干涉法

位移干涉法是另一种常用的光学非接触测量方法。它利用光学干涉原理,通过测量目标物体表面的位移信息来确定目标物体的形状和表面质量。该方法具有高精度和高灵敏度的特点,适用于需要进行微小位移测量和表面质量评估的领域,如半导体制造、精密光学加工等。

散斑法

散斑法是光学非接触测量中的一种特殊方法。它利用激光照射到目标物体表面产生的散斑图案来获得目标物体的表面形貌信息。通过对散斑图案的分析和处理,可以实现对目标物体表面粗糙度、高度差等参数的测量。散斑法具有非接触、高灵敏度的特点,广泛应用于材料科学、生物医学等领域。

主要特点

光学非接触测量仪的主要特点包括:

非接触性:测量时不需与测量物接触,避免了因接触带来的变形影响。

高精度:能够实现微小位移和表面质量的高精度测量。

高速度:测量速度快,大大提高了工作效率。

灵活性:可以根据不同的测量需求选择不同的测量方法和组合,适应多种应用场景。

可靠性:通过大量的数据获取和计算机处理,保证了测量结果的可靠性和重复性。

综上所述,光学非接触测量仪以其独特的原理和特点,在多个领域有着广泛的应用前景。


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